En esta sala se realizan las verificaciones y comprobación de los distintos dispositivos en varios ámbitos. Esta sala permite realizar caracterizaciones eléctricas, físicas (morfología), ópticas y de manejo de microfluídos. Para ello, cuenta con los siguientes equipos:
a. Caracterización eléctrica
Analizador paramétrico de semiconductores: equipo básico para la caracterización de alta precisión de dispositivos semiconductores, a través del uso de fuentes que permiten mediciones de hasta 1fA y 0.2uV. Este equipo será utilizado para una mejor aproximación al estudio práctico de dispositivos en los laboratorios académicos de asignaturas de electrónica y caracterización de dispositivos fabricados con las facilidades de la sala limpia.
Analizador de impedancias: equipo utilizado para probar componentes activos y pasivos. Permite realizar mediciones de impedancia (capacitancia, inductancia y resistencia) y fase a través de un amplio rango de frecuencias. Este equipo es necesario para complementar la caracterización de dispositivos semiconductores.
Soldador (Bonder): permite realizar conexiones eléctricas permanentes entre un microdispositivo ya terminado y las terminales externas del encapsulado que lo contiene. Este equipo es necesario para producir dispositivos que puedan ser usados en aplicaciones prácticas, facilitando su manipulación y ensamblaje.
b. Caracterización física (morfológica)
Adjustable Diamond Scriber: cortador de obleas de silicio. Éste equipo es necesario para segmentar/individualizar los prototipos para su posterior caracterización y/o encapsulamiento
Profiler: equipo de medición que realiza barridos sobre una muestra ya fabricada de manera que se puede obtener las variaciones de altura de la misma. Este equipo es necesario para la verificación de la estructura final en los procesos de fotolitografía y deposición. Permite obtener medidas de los perfiles de las muestras de una manera más rápida que los microscopios electrónicas y de tunelamiento.
Microscopio de tunelamiento: equipo de bajo costo y basado en una producción local, que permite obtener perfiles de muestras.
c. Caracterización óptica y de manejo de microfluídos
Microscopio óptico: equipo de microscopía óptica de transmisión con una capacidad de aumento de hasta 1000x para la caracterización óptica de dispositivos traslúcidos y semitransparentes.
Estereoscopio: equipo de microscopía para la observación de dispositivos no traslúcidos.
Cámaras de video y fotografía de alta resolución: equipos requeridos para el monitoreo en tiempo real de dispositivos y de reacciones microfluídicas en su interior.
Microinyector: equipo basado en un producción local para la manipulación controlada de fluídos dentro de microsistemas.
Sala Limpia: caracterización